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时间 1989 - 2010 学科选择学科
题名/关键词 模糊
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    题名 作者 年代 出处 被引量
1ZnO薄膜的制备及其特性研究显示文摘采用射频磁控溅射技术生长出高质量(002)晶面取向的ZnO薄膜.通过XRD和AFM研究了射频功率和氧气比例对ZnO薄膜的结构和表面形貌的影响.研究结果显示,射频功率在50W下氧气比例为45%时,所生长的ZnO薄膜可以用于制作高质量的表面声波仪(SAW).余花娃 王晶 张英堂 严祥安 刘静 2007西安工程科技学院学报2007，21，4：1
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