Sb_2O_3/CeO_2共掺杂ZnO薄膜的研究

查看全文 作　　者：[1]徐芸芸;[1]张韬;[1]李争鸣;[1]徐新

机构地区：[1]徐州空军学院,徐州221000

出　　处：《表面技术》索引2011年第40卷第6期,共3页

摘　　要：采用射频磁控溅射技术制备Sb2O3/CeO2共掺杂ZnO薄膜,研究了薄膜的结构及紫外光吸收性能。结果表明:Sb2O3和CeO2共同掺入ZnO薄膜后,ZnO(002)晶面的XRD衍射峰强度明显下降,ZnO薄膜呈混晶方式生长;共掺杂ZnO薄膜的紫外吸收性能明显优于纯ZnO薄膜,Sb对掺杂ZnO薄膜的结构和紫外吸收性能的影响起主导作用,Ce起进一步的强化作用。 关键词：磁控溅射 ZNO薄膜掺杂结构紫外吸收

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