Impact of thermal processes on multi-crystalline silicon

查看全文 作　　者：Moonyong [1]KIM;Phillip [1,2]HAMER;Hongzhao [1]LI;David [1]PAYNE;Stuart [1]WENHAM;Malcolm [1]ABBOTT;Brett [1]HALLAM 机构地区：[1]School of Photovoltaic and Renewable Energy Engineering, Universityof New South Wales, Sydney, NSW 2052, Australia;[2]Department of Materials, University of Oxford, Oxford, OX1 3PH, United Kingdom 出　　处：《Frontiers in Energy》索引2017年第11卷第1期,共10页 摘　　要：现代的多水晶的硅太阳能电池的制造包含热地集中的多重过程。这些包括 emitter 散开,热氧化并且金属接触开火。这份报纸由于这些热过程在晶片在再结合之上说明变化和潜在的效果。与选择 emitter 图案更兼容的轻 emitter 散开的使用比与一个同质的 emitter 图案和打印屏幕的接触兼容的更重的散开的在硅的体积一生上有更有害的效果。这主要由于为轻 emitter 的用吸气剂吸气的减少的有效性。在一生的这减小能通过在 emitter 散开前使用的一个奉献用吸气剂吸气过程的使用被减轻。热氧化能极大地在 intragrain 区域改进表面钝化,与产出高质量的表面钝化的更高的温度。然而,更高的温度也大批导致了增加再结合由于用吸气剂吸气的减少的有效性,或由于更厚的氧化物层的存在,它可以打断氢钝化。快开火的效果被分开成热效果和加氢效果。当氢能使钝化时因此改进表演的缺点,热效果能在快开火期间溶解象铁那样的猛抛的杂质或 de 得到杂质因此降低表演,导致一毒害 intra 谷物区域。 关 键 词：多晶硅太阳能电池 热处理 均匀扩散 热氧化法 表面钝化 发射极 丝网印刷 工艺应用