纳米晶粒钛膜中氦注入的剂量保持和释放规律

查看全文 作　　者：[1]龙兴贵;[2]郑思孝;[1]罗顺忠;[2]刘仲阳;[2]王培录;[1]彭述明;[2]廖小东;[2]刘宁

机构地区：[1]中国工程物理研究院核物理与化学研究所,四川绵阳621900;[2]四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室,四川成都610064

出　　处：《原子能科学技术》索引2003年第37卷第5期,共5页

基　　金：国家自然科学基金重点项目资助课题(50131050) 摘　　要：在室温~400℃范围内,用卢瑟福质子背散射技术测量了100keV、注入剂量2 2×1018cm-2的纳米晶粒钛膜中氦的浓度分布、不同温度下的剂量保持及其浓度释放。室温下经210d后,氦在该纳米晶粒钛膜中的剂量保持达68%,其He Ti原子比为52 6%;100℃下氦的保持剂量为室温下的89 6%,此时的He Ti原子比为44%;400℃下的保持剂量为室温下的32 6%,He Ti原子比为17 1%。同时观察到了氦的释放随温度上升呈现波浪式的变化特点。从能量稳定性观点初步探讨了纳米晶粒钛膜有效保持氦的可能机制。 关键词：纳米晶粒钛膜氦卢瑟福质子背散射浓度温度氢氚

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