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时间 1989 - 2010 学科选择学科
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13篇 您的检索式：作者名="Enoksson Peter"
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    题名 作者 年代 出处 被引量
1A monolithic three-axis SOI-accelerometer with uniform sensitivity显示文摘Henrik Rodjegard Christer Johansson Peter Enoksson 2005Sensors and Actuators A2005，，：1
2Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask显示文摘 Peter Enoksson Goran stemme 1998Journal of Micromechanics and Microengineering1998，，8：1
3A high-stroke,high-pressure electrostatic actuator for valve applications显示文摘Wijngaart Wouter van der Ask Hakan Enoksson Peter 2002Sens Actuat2002，100，23：1
4Deep wet etching of borosihcate glass using all anodically bonded silicon substrate as mask显示文摘 Peter Enoksson Ggran Stemme 1998Journal of Micromechanics and Microengineering1998，，8：1
5Micromachined flat-walled valveless diffuser pumps显示文摘Anders Olsson Peter Enoksson Goran Stemme 1997Journal of Microelectromechanical System1997，6，2：1
6Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask显示文摘Thierry Corman Peter Enoksson Goran Stemme 1998Journal of Micromechanics and Microengineering1998，，8：1
7Highly sensitive triaxial silicon accelerometer with integrated PZT thin film detectors显示文摘Korbinian Kunz Peter Enoksson G?ran Stemme Sensors & Actuators: A Physical0，，：1
8Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask显示文摘 Peter Enoksson Goran Stemme 1998Journal of Micromechanics and Microengineering1998，8，：1
9Micromachined fiat _ walled valveless diffuser pumps 显示文摘Anders Olsson Peter Enoksson Goran Stemme 1997Journal of Microelectromechanical Systems1997，6，2：1
10An easy-to-implement method for evaluation of capacitive reso-nant sensors显示文摘Farzan Alavian Ghavanini Henrik R?djeg?rd Peter Enoksson 0，，：1
11Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask 显示文摘Thierry Corman Peter Enoksson and Goran Stemme 1998J Micromech Microeng1998，，8：1
12Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask 显示文摘Thierry Corman Peter Enoksson and Goran Stemme 1998J Micromech Microeng1998，，8：1
13A High-stroke and High-pressure Electrostatic Actuator for Valve Applications显示文摘van der WIJNGAART Wouter ASK H:ikan ENOKSSON Peter 2002Sensors and Actuators A : Physical2002，100，23：1
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